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北京理工大学学报 2007
离子辅助反应蒸发技术室温制备ITO薄膜Keywords: 离子辅助反应蒸发技术,室温,ITO薄膜 Abstract: 室温下利用离子辅助反应蒸发法在玻璃衬底上制备高透射比、低电阻率的ITO透明导电薄膜.实验结果表明离子辅助蒸发可以有效地降低制备温度,提高薄膜的光电特性,薄膜具有明显的(222)择优取向,晶体粒子尺寸约为21nm;离子源屏压、通氧量及沉积速率是影响薄膜光电特性的主要因素.室温制备的ITO薄膜电阻率为2.4×10-3Ω.cm,可见光平均透射比大于82%.
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