光栅光阀MEMS光开关系统设计

分析了光栅光阀(gratinglightvalve,GLV)的光学特性，对GLV结构进行了计算机仿真。利用GLV在静电力驱动下具有较高的光学效率、快速的调制速率等优点，基于平行平板电容模型的GLV模拟算法，设计了光栅光阀1×2MEMS（microelectromechanicalsystems，微机电系统）光开关，经CoventorWare仿真表明，在1.55μm光波长正入射及给定GLV参数时，所设计的光开关1级衍射效率达到50％，开关时间为微秒级，并具有耐磨损、时间快、寿命长等特点。