%0 Journal Article
%T 光栅光阀MEMS光开关系统设计
%A 喻洪麟
%A 鲁双全
%J 重庆大学学报
%D 2008
%R 10.11835/j.issn.1000-582X.2008.06.006
%X 分析了光栅光阀(gratinglightvalve,GLV)的光学特性，对GLV结构进行了计算机仿真。利用GLV在静电力驱动下具有较高的光学效率、快速的调制速率等优点，基于平行平板电容模型的GLV模拟算法，设计了光栅光阀1×2MEMS（microelectromechanicalsystems，微机电系统）光开关，经CoventorWare仿真表明，在1.55μm光波长正入射及给定GLV参数时，所设计的光开关1级衍射效率达到50％，开关时间为微秒级，并具有耐磨损、时间快、寿命长等特点。
%K 光栅光阀
%K MEMS
%K 光开关
%K 衍射效率
%K 开关时间
%U http://qks.cqu.edu.cn/cqdxzrcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20080606&flag=1