高密度计量圆光栅的研制

在高精度圆刻线机上，采用了新的高精度主轴转速数字锁相自调系统，设计了一种新型柱面“蜂窝”透镜光刻系统。研制出刻划中径≤５０ｍｍ，刻线数为３２７６８线对的高密度计量圆光栅，最大直径误差≤０．６″，均匀性误差在５％以内。