%0 Journal Article
%T 高密度计量圆光栅的研制
%A 喻洪麟
%J 重庆大学学报
%D 1994
%X 在高精度圆刻线机上，采用了新的高精度主轴转速数字锁相自调系统，设计了一种新型柱面“蜂窝”透镜光刻系统。研制出刻划中径≤５０ｍｍ，刻线数为３２７６８线对的高密度计量圆光栅，最大直径误差≤０．６″，均匀性误差在５％以内。
%K 编码器
%K 透镜
%K 光栅
%U http://qks.cqu.edu.cn/cqdxzrcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=199406156&flag=1