基于平面等倾干涉原理的平面度视觉测量系统

介绍一种基于平面等倾干涉原理的机器视觉高精度平面度测量系统。它利用等倾干涉原理,通过CCD提取随平面度变化的明暗相交干涉圆环条纹信息,根据条纹中心不变性和中心对称性,以开始测量点适当级次条纹中心为参考条纹,间隔90°建立4个扇形窗口,对窗口内条纹信息处理,得到细化后条纹与参考条纹径向间距,参照前一测量点干涉条纹径向位置,得到干涉条纹在各测点的变化量N。该N值既能反映出半波长整数倍,又能反映半波长小数倍的测点高度差信息,利用最小二乘原理,处理N值,得到极高精度的平面度测量误差。