%0 Journal Article
%T 基于平面等倾干涉原理的平面度视觉测量系统
%A 王洪
%A 王石刚
%A 薛联
%A 秦岚
%J 重庆大学学报
%D 2001
%R 10.11835/j.issn.1000-582X.2001.03.002
%X 介绍一种基于平面等倾干涉原理的机器视觉高精度平面度测量系统。它利用等倾干涉原理,通过CCD提取随平面度变化的明暗相交干涉圆环条纹信息,根据条纹中心不变性和中心对称性,以开始测量点适当级次条纹中心为参考条纹,间隔90°建立4个扇形窗口,对窗口内条纹信息处理,得到细化后条纹与参考条纹径向间距,参照前一测量点干涉条纹径向位置,得到干涉条纹在各测点的变化量N。该N值既能反映出半波长整数倍,又能反映半波长小数倍的测点高度差信息,利用最小二乘原理,处理N值,得到极高精度的平面度测量误差。
%K 等倾干涉
%K 条纹跟踪定位
%K 机器视觉测量系统
%K 最小二乘法平面度
%U http://qks.cqu.edu.cn/cqdxzrcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20010381&flag=1