|
|
重庆大学学报 2005
Mo2C膜脱附激活能随沉积温度的变化规律DOI: 10.11835/j.issn.1000-582X.2005.04.027 Keywords: Mo2C膜,脱附激活能,沉积温度,脱附激活能,沉积温度,变化规律,Deposition,Activation,Energy,Variation,速度,温度升高,测量结果,计算公式,粒子,物理模型,颗粒粒径,过程,MOCVD,金属有机气相沉积 Abstract: 介绍了用金属有机气相沉积(MOCVD)制备Mo2C膜的过程和对膜的颗粒粒径的测量结果,建立物理模型,导出粒子脱附激活能的计算公式,探讨了Mo2C膜的脱附激活能随沉积温度的变化.结果表明:沉积温度低于380℃时,Mo2C膜的脱附激活能随温度升高而增大较快;而高于380℃时,激活能随温度升高而增大的速度变小.
|
