%0 Journal Article
%T Mo2C膜脱附激活能随沉积温度的变化规律
%A 郑瑞伦
%A 张浩波
%J 重庆大学学报
%D 2005
%R 10.11835/j.issn.1000-582X.2005.04.027
%X 介绍了用金属有机气相沉积(MOCVD)制备Mo2C膜的过程和对膜的颗粒粒径的测量结果,建立物理模型,导出粒子脱附激活能的计算公式,探讨了Mo2C膜的脱附激活能随沉积温度的变化.结果表明:沉积温度低于380℃时,Mo2C膜的脱附激活能随温度升高而增大较快;而高于380℃时,激活能随温度升高而增大的速度变小.
%K Mo2C膜
%K 脱附激活能
%K 沉积温度
%K 脱附激活能
%K 沉积温度
%K 变化规律
%K Deposition
%K Activation
%K Energy
%K Variation
%K 速度
%K 温度升高
%K 测量结果
%K 计算公式
%K 粒子
%K 物理模型
%K 颗粒粒径
%K 过程
%K MOCVD
%K 金属有机气相沉积
%U http://qks.cqu.edu.cn/cqdxzrcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=200504149&flag=1