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分析化学 2003
制造玻璃微流控芯片的简易加工技术, PP. 116-119 Keywords: 微流控芯片,微加工技术,掩模,湿法刻蚀,键合 Abstract: 报道了在普通化学实验室中设计和加工玻璃微流控芯片的方法.用AdobeIllustrator8.0软件设计微流控芯片图形,通过高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩模.用商品匀胶铬板表面的145nmCr/570nmAz-1805光胶层作为保护层,在50℃刻蚀液(1mol/LHF+1mol/LNaF)中,刻蚀速度为2μmmin.通过彻底洗净加工好的玻璃基片,提高了芯片热键合的质量和成品率.制得的芯片已成功地用于氨基酸分离和PCR扩增.
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