%0 Journal Article
%T 制造玻璃微流控芯片的简易加工技术
%A 殷学锋
%A 沈宏
%A 方肇伦
%J 分析化学
%P 116-119
%D 2003
%X 报道了在普通化学实验室中设计和加工玻璃微流控芯片的方法.用AdobeIllustrator8.0软件设计微流控芯片图形,通过高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩模.用商品匀胶铬板表面的145nmCr/570nmAz-1805光胶层作为保护层,在50℃刻蚀液(1mol/LHF+1mol/LNaF)中,刻蚀速度为2μmmin.通过彻底洗净加工好的玻璃基片,提高了芯片热键合的质量和成品率.制得的芯片已成功地用于氨基酸分离和PCR扩增.
%K 微流控芯片
%K 微加工技术
%K 掩模
%K 湿法刻蚀
%K 键合
%U http://210.14.121.5:8080/fxhx/CN/abstract/abstract4516.htm