化学转化-气相色谱法测定氮化硅中的游离硅

建立了用化学转化-气相色谱法测定氮化硅中游离硅的分析方法.游离硅和氮化硅与熔融的氢氧化钠反应,排出氢、氨和少量二氧化碳和水蒸汽.吸收除去氨、二氧化碳和水蒸汽后,用热导检测器检测氢.方法简便、准确,平均回收率为96%,相对标准偏差<5%.