%0 Journal Article %T 化学转化-气相色谱法测定氮化硅中的游离硅 %A 何克伦 %A 董敏 %A 蔡仲滔 %J 分析化学 %P 817-820 %D 1999 %X 建立了用化学转化-气相色谱法测定氮化硅中游离硅的分析方法.游离硅和氮化硅与熔融的氢氧化钠反应,排出氢、氨和少量二氧化碳和水蒸汽.吸收除去氨、二氧化碳和水蒸汽后,用热导检测器检测氢.方法简便、准确,平均回收率为96%,相对标准偏差<5%. %K 化学转化 %K 气相色谱法 %K 氮化硅 %K 游离硅 %U http://210.14.121.5:8080/fxhx/CN/abstract/abstract2942.htm