|
|
分析化学 2015
激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法分析Cr:ZnSe晶体中掺杂元素Cr的含量和分布DOI: 10.11895/j.issn.0253-3820.140355, PP. 151-154 Keywords: 激光剥蚀电感耦合等离子体质谱,Cr:ZnSe晶体,掺杂 Abstract: 采用激光剥蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)法研究激光晶体材料Cr:ZnSe晶体中掺杂元素铬(Cr)的含量和分布.利用镀膜扩散掺杂方法,制备不同掺杂浓度的Cr:ZnSe晶体标准样品作为固体标准物质,实现Cr:ZnSe晶体中Cr的定量分析.LA-ICP-MS法研究自制标准样品中Cr的分布均匀性,电感耦合等离子体光谱法测定其准确含量.通过激光点剥蚀和线扫描剥蚀采样,获得Cr元素的点位和含量分布信息,实现晶体中Cr的原位微区分析.标准工作曲线相关系数0.9992,检出限0.08mg/kg.本方法可为不同生长条件下Cr:ZnSe晶体中Cr的统计分布分析提供有效检测手段.
|
