%0 Journal Article
%T 激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法分析Cr:ZnSe晶体中掺杂元素Cr的含量和分布
%A 朱燕
%A 陈敏
%A 屈海云
%A 周慧
%A 李青
%A 邹慧君
%A 陈奕睿
%A 汪正
%J 分析化学
%P 151-154
%D 2015
%R 10.11895/j.issn.0253-3820.140355
%X 采用激光剥蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)法研究激光晶体材料Cr:ZnSe晶体中掺杂元素铬(Cr)的含量和分布.利用镀膜扩散掺杂方法,制备不同掺杂浓度的Cr:ZnSe晶体标准样品作为固体标准物质,实现Cr:ZnSe晶体中Cr的定量分析.LA-ICP-MS法研究自制标准样品中Cr的分布均匀性,电感耦合等离子体光谱法测定其准确含量.通过激光点剥蚀和线扫描剥蚀采样,获得Cr元素的点位和含量分布信息,实现晶体中Cr的原位微区分析.标准工作曲线相关系数0.9992,检出限0.08mg/kg.本方法可为不同生长条件下Cr:ZnSe晶体中Cr的统计分布分析提供有效检测手段.
%K 激光剥蚀电感耦合等离子体质谱
%K Cr:ZnSe晶体
%K 掺杂
%U http://210.14.121.5:8080/fxhx/CN/abstract/abstract13781.htm