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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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高功率激光电离垂直飞行时间质谱技术应用于薄层的快速深度分析
DOI: 10.3724/SP.J.1096.2014.30832, PP. 16-20
Keywords: 激光电离,飞行时间质谱,薄层,深度分析
Abstract:
高功率激光电离垂直飞行时间质谱（LI-O-TOFMS）应用于薄层的深度分析是目前一项相对新颖的分析技术，不仅可以分析薄层的厚度，而且可以同时确定其中的元素组成及其随深度的分布情况。激光参数：波长532nm，脉宽4.5ns，功率密度9×109W/cm2。该项分析技术可以分析单镀层和多镀层的薄层样品。薄层的分辨厚度范围达到微米水平。相比其它薄层分析技术，LI-O-TOFMS是一项多功能的深度分析工具。
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