%0 Journal Article
%T 高功率激光电离垂直飞行时间质谱技术应用于薄层的快速深度分析
%A 李彬
%A 何妙洪
%A 余淑媛
%A 刘志红
%A 杭纬
%A 黄本立
%J 分析化学
%P 16-20
%D 2014
%R 10.3724/SP.J.1096.2014.30832
%X 高功率激光电离垂直飞行时间质谱（LI-O-TOFMS）应用于薄层的深度分析是目前一项相对新颖的分析技术，不仅可以分析薄层的厚度，而且可以同时确定其中的元素组成及其随深度的分布情况。激光参数：波长532nm，脉宽4.5ns，功率密度9×109W/cm2。该项分析技术可以分析单镀层和多镀层的薄层样品。薄层的分辨厚度范围达到微米水平。相比其它薄层分析技术，LI-O-TOFMS是一项多功能的深度分析工具。
%K 激光电离
%K 飞行时间质谱
%K 薄层
%K 深度分析
%U http://210.14.121.5:8080/fxhx/CN/abstract/abstract13418.htm