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ISSN: 2333-9721
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电化学  2006 

taC∶N电极的制备及其电化学行为初步研究

, PP. 338-340

Keywords: taC∶N电极,欧姆接触,循环伏安法

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Abstract:

taC∶N膜是一种具有潜力的半导体电极材料,但该电极制作中存在基底硅片与导线间的欧姆接触问题.根据高温处理对taC∶N膜性质的影响,本文先在硅片上制作欧姆接触,再沉积taC∶N膜,并由此得到了一批具有不同含氮量的taC∶N电极.循环伏安测试表明,膜中氮含量的增加只使阴极背景极限正移,而对阳极背景极限几乎没有影响,电化学窗口也因此而变窄.

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