%0 Journal Article
%T taC∶N电极的制备及其电化学行为初步研究
%A 刘姝
%J 电化学
%P 338-340
%D 2006
%X taC∶N膜是一种具有潜力的半导体电极材料,但该电极制作中存在基底硅片与导线间的欧姆接触问题.根据高温处理对taC∶N膜性质的影响,本文先在硅片上制作欧姆接触,再沉积taC∶N膜,并由此得到了一批具有不同含氮量的taC∶N电极.循环伏安测试表明,膜中氮含量的增加只使阴极背景极限正移,而对阳极背景极限几乎没有影响,电化学窗口也因此而变窄.
%K taC∶N电极
%K 欧姆接触
%K 循环伏安法
%U http://electrochem.xmu.edu.cn/CN/abstract/abstract8797.shtml