纳米分辨近场光学显微成象技术现状

介绍了纳米分辨近场光学显微成象技术现状.近场光学显微成象技术大体可分为小孔扫描近场光学显微镜(A-SNOM)、无孔径尖散射扫描近场光学显微镜(S-SNOM)和光子扫描隧道显微镜(PSTM)三种基本类型.除介绍这三类近场光学显微镜简要成象原理、现状和各自特点外,还重点介绍了大连理工大学纳米成象技术研究组PSTM的研究进展,即PSTM消假象数值模拟和实验研究结果,其实验空间分辨首次达到2.8nm线扩展函数半高宽的水平.