%0 Journal Article %T 纳米分辨近场光学显微成象技术现状 %A 吴世法 %A 简国树 %A 潘 石 %J 中国图象图形学报 %D 2000 %R 10.11834/jig.20000801 %X 介绍了纳米分辨近场光学显微成象技术现状.近场光学显微成象技术大体可分为小孔扫描近场光学显微镜(A-SNOM)、无孔径尖散射扫描近场光学显微镜(S-SNOM)和光子扫描隧道显微镜(PSTM)三种基本类型.除介绍这三类近场光学显微镜简要成象原理、现状和各自特点外,还重点介绍了大连理工大学纳米成象技术研究组PSTM的研究进展,即PSTM消假象数值模拟和实验研究结果,其实验空间分辨首次达到2.8nm线扩展函数半高宽的水平. %K 近场光学 %K 扫描近场光学显微镜 %K 散射-扫描近场光学显微镜 %K 光子扫描隧道显微镜 %U http://www.cjig.cn/jig/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20000801&flag=1