超精密机床工作台运行误差的测量与补偿

？首先介绍了位置敏感检测器件PSD(PositionSensitiveDetector)的工作原理和标定方法，再用PSD对超精密机床工作台运行误差进行在线测量，最后给出了误差实时补偿的方法。