%0 Journal Article
%T 超精密机床工作台运行误差的测量与补偿
%J 兵工学报
%P 94-96
%D 1999
%X ？首先介绍了位置敏感检测器件PSD(PositionSensitiveDetector)的工作原理和标定方法，再用PSD对超精密机床工作台运行误差进行在线测量，最后给出了误差实时补偿的方法。
%K 超精密机床
%K 工作台
%K 位置敏感检测器件
%K 测量
%K 补偿
%U http://118.145.16.231/jweb_bgxb/CN/abstract/abstract3615.shtml