微型光学陀螺用光波导环形谐振腔的优化设计与制备

？光波导环形谐振腔是微型光学陀螺的核心敏感部件,其性能直接影响陀螺系统的性能,是此种陀螺设计和制造的关键。利用广角有限差分光束传播法（WA-BPM）对二氧化硅光波导环形谐振腔进行了优化设计；在优化设计的基础上，在硅衬底上利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法制备了掺GeO2的二氧化硅光波导环形谐振腔芯片，并通过了实验测试,其测量精细度可达16.7，可为今后集成光学陀螺的小型化和高灵敏度提供理论参考。