%0 Journal Article
%T 微型光学陀螺用光波导环形谐振腔的优化设计与制备
%A 郭丽君
%A 石邦任
%A 厉宝增
%A 赵猛
%A 陈晨
%J 兵工学报
%P 1444-1447
%D 2010
%X ？光波导环形谐振腔是微型光学陀螺的核心敏感部件,其性能直接影响陀螺系统的性能,是此种陀螺设计和制造的关键。利用广角有限差分光束传播法（WA-BPM）对二氧化硅光波导环形谐振腔进行了优化设计；在优化设计的基础上，在硅衬底上利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法制备了掺GeO2的二氧化硅光波导环形谐振腔芯片，并通过了实验测试,其测量精细度可达16.7，可为今后集成光学陀螺的小型化和高灵敏度提供理论参考。
%K 光学
%K 集成光学
%K 环形谐振腔
%K 光波导
%K 微型光学陀螺
%U http://118.145.16.231/jweb_bgxb/CN/abstract/abstract949.shtml