电子束成象的研究

？本文简要介绍电子束曝光多灰级成象的方法及实验系统.在此系统上可获得三十二级以上的图象灰度.在32mm×32mm的面积上可记录107位以上的图象信息,每位字长为8bit.电子束束径可从数微米调至数百微米.系统可在黑白银卤片、酸敏变色片、自由基片上直接曝光成象,且可兼容数字量及模拟量图象信息.