%0 Journal Article
%T 电子束成象的研究
%A 刘长发
%A 吴贵儒
%A 马菊仙
%J 自动化学报
%P 233-236
%D 1983
%X ？本文简要介绍电子束曝光多灰级成象的方法及实验系统.在此系统上可获得三十二级以上的图象灰度.在32mm×32mm的面积上可记录107位以上的图象信息,每位字长为8bit.电子束束径可从数微米调至数百微米.系统可在黑白银卤片、酸敏变色片、自由基片上直接曝光成象,且可兼容数字量及模拟量图象信息.
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%U http://www.aas.net.cn/CN/abstract/abstract15341.shtml