掺杂不同钛含量氮化锆薄膜的制备

采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆（Zr-Ti―N）复合薄膜材料，并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能．结果表明：随着Ti含量增加，Zr―Ti―N薄膜硬度有所提高；在Ti含量为18．7at．％时，薄膜的硬度达到最大值2483HK0.025；当添加16．5at．％Ti时，硬度值略有降低，但临界载荷最高，耐磨性最佳．