%0 Journal Article
%T 掺杂不同钛含量氮化锆薄膜的制备
%A 姚舜晖
%A 苏演良
%A 高文显
%A 郑凯文
%J 摩擦学学报
%D 2006
%X 采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆（Zr-Ti―N）复合薄膜材料，并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能．结果表明：随着Ti含量增加，Zr―Ti―N薄膜硬度有所提高；在Ti含量为18．7at．％时，薄膜的硬度达到最大值2483HK0.025；当添加16．5at．％Ti时，硬度值略有降低，但临界载荷最高，耐磨性最佳．
%K 复合材料
%K Zr―Ti―N薄膜
%K 摩擦磨损性能
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20060588&flag=1