载气对气相沉积BN膜的形成及摩擦学性能的影响研究

以Ａｒ＋１０％Ｈ２（体积分数）Ｈ２及Ｎ２为载气，采用射频ＰＣＶＤ技术在４０Ｃｒ钢表面制备了ＢＮ膜，对沉积ＢＮ膜进行了ＦＴＩＲ，ＴＥＭ和ＳＥＭ等分析，并对不同载气下膜与基体的结合力，膜层残余应力，硬度及耐磨性进行了比较，结果表明，ＢＮ膜中，ｃ－ＢＮ含量分别为５８．１％，２７．７％和２７．４％，膜厚分别为４．６μｍ，２．０μｍ和３．３μｍ。