%0 Journal Article
%T 载气对气相沉积BN膜的形成及摩擦学性能的影响研究
%A 张晓玲
%A 徐可为
%A 胡奈赛
%A 何家文
%J 摩擦学学报
%D 1999
%X 以Ａｒ＋１０％Ｈ２（体积分数）Ｈ２及Ｎ２为载气，采用射频ＰＣＶＤ技术在４０Ｃｒ钢表面制备了ＢＮ膜，对沉积ＢＮ膜进行了ＦＴＩＲ，ＴＥＭ和ＳＥＭ等分析，并对不同载气下膜与基体的结合力，膜层残余应力，硬度及耐磨性进行了比较，结果表明，ＢＮ膜中，ｃ－ＢＮ含量分别为５８．１％，２７．７％和２７．４％，膜厚分别为４．６μｍ，２．０μｍ和３．３μｍ。
%K c-BN膜
%K 载气
%K 摩擦学性能
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19990248&flag=1