甲基异丙烯基酮均聚物及其共聚物的光降解行为的研究

光敏性高分子是一种功能高分子,它已用作为集成电路制造中不可缺少的光致抗蚀剂。随着电子工业的发展,从集成电路到超大规模集成电路的研究和生产,对光致抗蚀剂提出了更高的要求。目前工业上生产的光致抗蚀剂有两种类型:负性抗蚀剂和正性抗蚀剂。一般前