%0 Journal Article
%T 甲基异丙烯基酮均聚物及其共聚物的光降解行为的研究
%A 朱树新
%A 陈峡华
%A 李雨田
%A 李世瑨
%J 华东理工大学学报
%D 1983
%X 光敏性高分子是一种功能高分子,它已用作为集成电路制造中不可缺少的光致抗蚀剂。随着电子工业的发展,从集成电路到超大规模集成电路的研究和生产,对光致抗蚀剂提出了更高的要求。目前工业上生产的光致抗蚀剂有两种类型:负性抗蚀剂和正性抗蚀剂。一般前
%U http://journal.ecust.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19830229&flag=1