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哈尔滨工业大学学报 2010
超大口径凹非球面反射镜的动态干涉测量技术DOI: 10.11918/j.issn.0367-6234.2010.07.008, PP. 1042-1045 Keywords: 超大口径凹非球面反射镜,超长光路,振动,大气扰动,动态干涉仪 Abstract: 为了克服超长光路造成的振动和大气扰动的影响,采用动态干涉测量结合补偿法进行超大口径凹非球面的精密检测.通过分析超大口径凹非球面反射镜检测的难点,采用动态干涉仪克服检测中振动和大气扰动,并利用Zemax光学设计软件,以口径3.5m的凹非球面反射镜为例设计了干涉补偿光路.误差分析结果表明,采用动态干涉仪和补偿法进行超大口径凹非球面反射镜面形检测,不仅可以克服振动和大气扰动的影响,还能达到λ/90以上的检测精度.
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