%0 Journal Article
%T 超大口径凹非球面反射镜的动态干涉测量技术
%A 张伟
%A 王曌
%A 王玲
%J 哈尔滨工业大学学报
%P 1042-1045
%D 2010
%R 10.11918/j.issn.0367-6234.2010.07.008
%X 为了克服超长光路造成的振动和大气扰动的影响,采用动态干涉测量结合补偿法进行超大口径凹非球面的精密检测.通过分析超大口径凹非球面反射镜检测的难点,采用动态干涉仪克服检测中振动和大气扰动,并利用Zemax光学设计软件,以口径3.5m的凹非球面反射镜为例设计了干涉补偿光路.误差分析结果表明,采用动态干涉仪和补偿法进行超大口径凹非球面反射镜面形检测,不仅可以克服振动和大气扰动的影响,还能达到λ/90以上的检测精度.
%K 超大口径凹非球面反射镜
%K 超长光路
%K 振动
%K 大气扰动
%K 动态干涉仪
%U http://journal.hit.edu.cn/hitxb_cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20100708&flag=1