一种电容式闭环微加速度计系统
DOI: 10.11918/j.issn.0367-6234.2010.11.009, PP. 1720-1723
Keywords: MEMS,加速度计,闭环系统,PID控制器
Abstract:
为了提高闭环微加速度传感器的性能,对反馈系统实现更好的控制作用,引入了PID控制器,并建立了闭环系统数学模型,分析了系统的传输函数.利用SIMLINK对该模型进行了仿真分析,结果表明PID控制器很好的改善了系统的阻尼,减小了系统的响应时间和调节时间.通过实验得到阶跃响应波形,证明PID控制的引入可以大大提高系统性能。
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