%0 Journal Article
%T 一种电容式闭环微加速度计系统
%A 陈伟平
%A 王天阳
%A 尹亮
%A 陈晓亮
%A 郭玉刚
%A 刘晓为
%J 哈尔滨工业大学学报
%P 1720-1723
%D 2010
%R 10.11918/j.issn.0367-6234.2010.11.009
%X 为了提高闭环微加速度传感器的性能,对反馈系统实现更好的控制作用,引入了PID控制器,并建立了闭环系统数学模型,分析了系统的传输函数.利用SIMLINK对该模型进行了仿真分析,结果表明PID控制器很好的改善了系统的阻尼,减小了系统的响应时间和调节时间.通过实验得到阶跃响应波形,证明PID控制的引入可以大大提高系统性能。
%K MEMS
%K 加速度计
%K 闭环系统
%K PID控制器
%U http://journal.hit.edu.cn/hitxb_cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20101109&flag=1