SnO2薄膜元件的制备及其气敏特性研究

采用溶胶－凝胶法，以氯化锡(snCl2)和无水乙醇为反应起始物，经过加热回流、热处理等工艺，制备出了掺硅和锑的氧化锡(SnO2)气敏薄膜，并制成了气敏元件．元件性能测试表明，材料对H2具有较高的灵敏度和选择性、较好的响应－恢复特性和稳定性．