%0 Journal Article
%T SnO2薄膜元件的制备及其气敏特性研究
%A 龚炎芳　黄世震　林伟　许增哲　陈知前
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 2000
%X 采用溶胶－凝胶法，以氯化锡(snCl2)和无水乙醇为反应起始物，经过加热回流、热处理等工艺，制备出了掺硅和锑的氧化锡(SnO2)气敏薄膜，并制成了气敏元件．元件性能测试表明，材料对H2具有较高的灵敏度和选择性、较好的响应－恢复特性和稳定性．
%K 溶胶－凝胶法氧化锡
%K 气敏薄膜
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20000114&flag=1