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ISSN: 2333-9721
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MIM结构薄膜应变栅的实验研究

Keywords: MIM结构,薄膜,应变栅

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运用薄膜沉积技术,制作了MIM(金属-介质-金属)结构薄膜应变栅介绍了薄膜应变栅的制作工艺,并对其性能参数进行了测试

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