%0 Journal Article
%T MIM结构薄膜应变栅的实验研究
%A 于映
%A 陈跃
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 1998
%X 运用薄膜沉积技术，制作了ＭＩＭ（金属－介质－金属）结构薄膜应变栅介绍了薄膜应变栅的制作工艺，并对其性能参数进行了测试
%K MIM结构
%K 薄膜
%K 应变栅
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19980234&flag=1