微电子机械系统中的若干固体力学问题

简述了微电子机械系统若干固体力学问题研究的现状，包括微构件材料的基本力学性能；微构件的力学分析与计算；微系统的失效分析研究；微系统的驱动等，并阐述了微系统力学问题中涉及的表面效应和尺度效应，提出了微系统多类型力作用、多种因素交叉、多学科耦合、非线性突出的特点和研究方向.