%0 Journal Article
%T 微电子机械系统中的若干固体力学问题
%A 张向军
%A 孟永钢
%A 温诗铸
%J 力学与实践
%P 0-0
%D 2003
%R 10.6052/1000-0992-2002-244
%X 简述了微电子机械系统若干固体力学问题研究的现状，包括微构件材料的基本力学性能；微构件的力学分析与计算；微系统的失效分析研究；微系统的驱动等，并阐述了微系统力学问题中涉及的表面效应和尺度效应，提出了微系统多类型力作用、多种因素交叉、多学科耦合、非线性突出的特点和研究方向.
%K 微电子机械系统
%K 固体力学
%K 尺度效应
%K 表面效应
%U http://lxsj.cstam.org.cn/CN/abstract/abstract136399.shtml