|
|
力学与实践 2009
硅生长过程中尖形磁场对流场及提拉速率的影响DOI: 10.6052/1000-0992-2008-200, PP. 24-27 Abstract: 通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluidflowandtransportphenomenaprogram)程序模拟了工业8\,in单晶硅提拉法生长过程.数值模拟结果表明，流场及提拉速率在单晶硅生长过程中具有振荡特性，提拉速率的振荡周期大约为2\,min.尖形磁场的引入能够抑制坩埚中熔体流动的振荡，减小提拉速率的振幅，从而有利于提高所生长单晶的质量.
|
