%0 Journal Article
%T 硅生长过程中尖形磁场对流场及提拉速率的影响
%A 陈启生
%A 秦明
%A 邓谷雨
%J 力学与实践
%P 24-27
%D 2009
%R 10.6052/1000-0992-2008-200
%X 通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluidflowandtransportphenomenaprogram)程序模拟了工业8\,in单晶硅提拉法生长过程.数值模拟结果表明，流场及提拉速率在单晶硅生长过程中具有振荡特性，提拉速率的振荡周期大约为2\,min.尖形磁场的引入能够抑制坩埚中熔体流动的振荡，减小提拉速率的振幅，从而有利于提高所生长单晶的质量.
%K 提拉法
%K 单晶硅
%K 流动振荡
%K 提拉速率
%U http://lxsj.cstam.org.cn/CN/abstract/abstract137778.shtml