多层膜结构对硬度实验影响的数值分析

为了研究多层膜结构对纳米微硬度实验的影响，用FEPG对纳米微硬度实验中压头的压入过程进行数值模拟，分析了由TiN,Al,Ti组成的多层膜中软膜材料不同、软膜与硬膜厚度比不同以及多层膜层数不同对膜层体系产生的影响，得出梯度变化的膜层结构能够提高膜层的整体性能,为纳米微硬度实验提供了一定的参考依据.