%0 Journal Article
%T 多层膜结构对硬度实验影响的数值分析
%A 刘瑛
%A 门玉涛
%A 李林安
%A 成广庆
%J 力学与实践
%P 0-0
%D 2006
%R 10.6052/1000-0992-2005-006
%X 为了研究多层膜结构对纳米微硬度实验的影响，用FEPG对纳米微硬度实验中压头的压入过程进行数值模拟，分析了由TiN,Al,Ti组成的多层膜中软膜材料不同、软膜与硬膜厚度比不同以及多层膜层数不同对膜层体系产生的影响，得出梯度变化的膜层结构能够提高膜层的整体性能,为纳米微硬度实验提供了一定的参考依据.
%K 硬度
%K 多层膜
%K 数值分析
%U http://lxsj.cstam.org.cn/CN/abstract/abstract137222.shtml