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力学进展 2000
Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论DOI: 10.6052/1000-0992-2000-4-J1998-042, PP. 529-537 Keywords: MEMS,尺度效应,表面效应,微尺度粘着接触,Tabor数,粘着数,晶片键合 Abstract: 微电子机械系统（ＭＥＭＳ）等领域的飞速发展，促使我们迈进了一个表面效应在许多现象中占主导地位的研究领域．本文重点介绍在ＭＥＭＳ中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论．通过对两个无量纲数——Ｔａｂｏｒ数μ（以及其相应形式）和粘着数θ的分析，以及考虑它们对于粘着力的影响，指出了粘着弹性接触理论中所隐含的尺度效应，随着特征尺度的减小，粘着弹性接触中的表面效应愈加明显．
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