%0 Journal Article
%T Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论
%A 赵亚溥
%A 王立森
%A 孙克
%J 力学进展
%P 529-537
%D 2000
%R 10.6052/1000-0992-2000-4-J1998-042
%X 微电子机械系统（ＭＥＭＳ）等领域的飞速发展，促使我们迈进了一个表面效应在许多现象中占主导地位的研究领域．本文重点介绍在ＭＥＭＳ中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论．通过对两个无量纲数——Ｔａｂｏｒ数μ（以及其相应形式）和粘着数θ的分析，以及考虑它们对于粘着力的影响，指出了粘着弹性接触理论中所隐含的尺度效应，随着特征尺度的减小，粘着弹性接触中的表面效应愈加明显．
%K MEMS
%K 尺度效应
%K 表面效应
%K 微尺度粘着接触
%K Tabor数
%K 粘着数
%K 晶片键合
%U http://lxjz.cstam.org.cn/CN/abstract/abstract132533.shtml