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ISSN: 2333-9721
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同步辐射X射线光刻初步实验结果

, PP. 572-572

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Abstract:

光束线由前端、Be窗、激光对准、曝光快门、镜箱、3个VAT气动阀、差分系统、单次曝光机及微机测量控制系统等组成.

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